Verfahren und Gerät zur Entscheidung einer Substratsverschiebung mit Optimierungsmethoden
EP1102137
Art B1
13. Juni 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1102137
- Aktenzeichen
- EP00310347
- Anmeldetag
- 22. November 2000
- Veröffentlichung
- 13. Juni 2007
- Erteilung
- 13. Juni 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/408H01L21/00G05B19/401G05B19/402
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hackney, Nigel John
London, Großbritannien
1.437
Patente gesamt
34
Fachgebiete
29
Anmelder-Länder
Schwerpunkte