Vorrichtung und Verfahren zum Abscheidung eines Werkstoffs auf ein Substrat

EP1103631 Art A2 30. Mai 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1103631
Aktenzeichen
EP00310335
Anmeldetag
21. November 2000
Veröffentlichung
30. Mai 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/35H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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