Optische Anordnung
EP1103857
Art B1
20. September 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1103857
- Aktenzeichen
- EP00123292
- Anmeldetag
- 27. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 20. September 2006
- Erteilung
- 20. September 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B7/02G02B7/18G02B13/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ostertag, Ulrich
Stuttgart, Deutschland
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