Verfahren zur Herstellung eines Verbundpartikels für chemisch-mechanisches Polieren

EP1104778 Art B1 3. November 2004

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1104778
Aktenzeichen
EP00125505
Anmeldetag
21. November 2000
Veröffentlichung
3. November 2004
Erteilung
3. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C08J3/215C08K3/22C09G1/02// H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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