Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Dünnschicht aus Metall oder Metallverbindung

EP1106712 Art A1 13. Juni 2001

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

Geyer, Ulrich F München, Deutschland

481

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Akustik, Musik & Datenspeicherung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Textiltechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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