Selbstausrichtender kontaktloser Schutzring für eine Arbeitseinheit

EP1106715 Art A1 13. Juni 2001

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1106715
Aktenzeichen
EP00311016
Anmeldetag
11. Dezember 2000
Veröffentlichung
13. Juni 2001
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/12C23C16/458C30B31/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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