Vorrichtung und Verfahren zur deformationsarmen Lagerung des optischen Elementes
EP1107034
Art A3
19. März 2003
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1107034
- Aktenzeichen
- EP00125619
- Anmeldetag
- 23. November 2000
- Veröffentlichung
- 19. März 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/02G03F7/20G02B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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