System zur Kompensation von Richtungs- und Positionsschwankungen eines von einem Laser erzeugten Lichtes
EP1107039
Art A3
27. August 2003
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1107039
- Aktenzeichen
- EP00125454
- Anmeldetag
- 21. November 2000
- Veröffentlichung
- 27. August 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/14G02B27/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
361
Patente gesamt
33
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte