Röntgen Belichter Methode Maske Spiegel Synchroton Strahler Bestrahlungsmethode und Albleiteranordnung

EP1107293 Art A1 13. Juni 2001

Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA, CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1107293
Aktenzeichen
EP00929857
Anmeldetag
24. Mai 2000
Veröffentlichung
13. Juni 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027H05H13/04G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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