Apparat und Methode, fixierte Ladungen in einem Halbleiter zu reduzieren

EP1107302 Art A3 27. Oktober 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1107302
Aktenzeichen
EP00126846
Anmeldetag
7. Dezember 2000
Veröffentlichung
27. Oktober 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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