On-chip Testschaltung zur Kontrolle der Belichtungsmaskenreihenfolge

EP1107313 Art A3 18. April 2007

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1107313
Aktenzeichen
EP00125798
Anmeldetag
24. November 2000
Veröffentlichung
18. April 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/544G03F7/20H01L23/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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