Entladungselektode, Erzeuger eines Hochfrequenz-Plasmas, Verfahren zur Leistungsübertragung, und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Gerätes

EP1107653 Art A1 13. Juni 2001

Anmelder: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD., Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1107653
Aktenzeichen: EP00937276
Anmeldetag: 16. Juni 2000
Veröffentlichung: 13. Juni 2001
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32// H01L21/3065C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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