Erhöhter Stationärer Uniformitätsring
EP1108263
Art B1
13. Februar 2008
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1108263
- Aktenzeichen
- EP00945096
- Anmeldetag
- 29. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2008
- Erteilung
- 13. Februar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Nicholls, Michael John
London, Großbritannien
1.551
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
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Schwerpunkte