Verfahren und Vorrichtung zur Schichtdickenmessung

EP1108978 Art A3 10. März 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1108978
Aktenzeichen
EP00127373
Anmeldetag
13. Dezember 2000
Veröffentlichung
10. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01B11/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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