Verfahren zur Herstellung von Bahnen aus monokristallinem Silizium im nanometrischen Bereich, und dadurch hergestellten Bahnen

EP1109209 Art A1 20. Juni 2001

Anmelder: STMicroelectronics S.A., FRANCE TELECOM, STMicroelectronics SA 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1109209
Aktenzeichen
EP00403511
Anmeldetag
14. Dezember 2000
Veröffentlichung
20. Juni 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/306H01L29/06H01L29/16H01L33/00H01L31/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
STMicroelectronics S.A.
FRANCE TELECOM
STMicroelectronics SA
Land
🇫🇷 Frankreich
🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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