Vorrichtung zur Ozonbehandlung für ein Halbleiterbehandlungssystem

EP1109210 Art A1 20. Juni 2001

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1109210
Aktenzeichen: EP00917455
Anmeldetag: 25. April 2000
Veröffentlichung: 20. Juni 2001
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205H01L21/31H01L21/324C23C8/12C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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