Methode, das unerwünschte Ätzen von isolierenden Schichten aufgrund hoher Bor-Konzentrationen zu reduzieren
EP1109211
Art A3
25. Februar 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1109211
- Aktenzeichen
- EP00311206
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316C23C16/44C23C16/40
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Draper, Martyn John
London, Großbritannien
343
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