Leistungspulsanordnung für einen Gasentladungslaser

EP1109314 Art A1 20. Juni 2001

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1109314
Aktenzeichen: EP00110892
Anmeldetag: 23. Mai 2000
Veröffentlichung: 20. Juni 2001
Rechtsraum: EP
IPC: H03K3/57H03K17/80

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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