Optisches Projektionssystem
EP1111425
Art A3
1. Oktober 2003
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1111425
- Aktenzeichen
- EP00127677
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B13/18G02B13/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
Oberkochen, Deutschland
27
Patente gesamt
5
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte