Trägerplattenanordnung für einen Belichtungsapparat
EP1111468
Art A3
24. Mai 2006
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1111468
- Aktenzeichen
- EP00128218
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 24. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München