Hochtemperatur elektrostatischer Halter
EP1111661
Art B1
16. Mai 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1111661
- Aktenzeichen
- EP00311471
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2007
- Erteilung
- 16. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Barnard, Eric Edward
London, Großbritannien
24
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Brookes IP
Brookes IP · Tunbridge Wells
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Brookes Batchellor LLP
Brookes Batchellor LLP · London