Polierkissen und Herstellungsverfahren

EP1112816 Art A3 4. Oktober 2001

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1112816
Aktenzeichen
EP00311271
Anmeldetag
15. Dezember 2000
Veröffentlichung
4. Oktober 2001
Rechtsraum
EP
IPC
B24D11/06B24B37/04B29C65/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM RESEARCH CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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