Sulfoniumsalzverbindung, diese enthaltende Resistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung von Mustern unter Verwendung dieser Resistzusammensetzung

EP1113334 Art A1 4. Juli 2001

Anmelder: NEC Corporation, NEC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1113334
Aktenzeichen: EP00128243
Anmeldetag: 21. Dezember 2000
Veröffentlichung: 4. Juli 2001
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004C07D335/02C07D333/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NEC Corporation
NEC CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NEC

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Tokio, der IT- und Netzwerklösungen, Telekommunikationsausrüstung sowie Sicherheits- und Biometrietechnik anbietet.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie

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