Verfahren zum Herstellen einer strukturierten metalloxidhaltigen Schicht

EP1113488 Art A3 21. Mai 2003

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1113488
Aktenzeichen
EP00128275
Anmeldetag
22. Dezember 2000
Veröffentlichung
21. Mai 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3105H01L21/02H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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