Herstellung einer Dünnen Membran

EP1114446 Art B1 14. April 2010

Anmelder: S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies S.A., S.O.I.TEC. Silicon on Insulator Technologies S.A., COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1114446
Aktenzeichen
EP00948075
Anmeldetag
29. Juni 2000
Veröffentlichung
14. April 2010
Erteilung
14. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
S.O.I.TEC Silicon on Insulator Technologies S.A.
S.O.I.TEC. Silicon on Insulator Technologies S.A.
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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