Apparat zur Bestimmung des Kupfergehaltes in Silizium durch Transistor-Ionendrainage und ein Zugehöriges Verfahren
EP1114452
Art A1
11. Juli 2001
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1114452
- Aktenzeichen
- EP00949586
- Anmeldetag
- 29. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Centre National de la Recherche Scientifique
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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