Verfahren und Vorrichtung zum geregelten Zuführen von Aufschlämmung zu einem Gebiet eines Poliergegenstandes
EP1114697
Art A3
8. Oktober 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1114697
- Aktenzeichen
- EP00311062
- Anmeldetag
- 12. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24D13/12B24D13/14B24B37/04B24B57/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Draper, Martyn John
London, Großbritannien
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