Quartzglas-Element, Verfahren zur Herstellung und Projektionsausrichteinrichtung, das Dieses Verwendet

EP1114802 Art A1 11. Juli 2001

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1114802
Aktenzeichen: EP00917420
Anmeldetag: 21. April 2000
Veröffentlichung: 11. Juli 2001
Rechtsraum: EP
IPC: C03C3/06H01L21/027G03B27/32C03B20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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