Optisches System
EP1115030
Art A3
6. April 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1115030
- Aktenzeichen
- EP00124722
- Anmeldetag
- 13. November 2000
- Veröffentlichung
- 6. April 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung, trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Ostertag, Ulrich
Stuttgart, Deutschland
412
Patente gesamt
30
Fachgebiete
7
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