Poliermaschine mit Dickemessvorrichtung

EP1116552 Art B1 18. April 2007

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1116552
Aktenzeichen
EP01100187
Anmeldetag
17. Januar 2001
Veröffentlichung
18. April 2007
Erteilung
18. April 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B49/04B24B49/10B24B7/22// H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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