Durch UV-Strahlung induzierte chemische Modifizierung von Fotoresistmotiven
EP1117008
Art A3
29. März 2006
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1117008
- Aktenzeichen
- EP00310639
- Anmeldetag
- 30. November 2000
- Veröffentlichung
- 29. März 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Axcelis Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Axcelis Technologies
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jacob, Reuben Ellis
London, Großbritannien
1.275
Patente gesamt
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Fachgebiete
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
West, Alan Harry
NoneLondon