Waferhalter für eine Halbleiterherstellungsvorrichtung
EP1119026
Art A3
14. Juni 2006
Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1119026
- Aktenzeichen
- EP01300468
- Anmeldetag
- 19. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 14. Juni 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/68C23C14/50H05B3/28H05B3/20H05B3/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sumitomo Electric Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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