Dielektrische Doppel-Damaszen-Struktur und Verfahren zu deren Herstellung
EP1119874
Art A1
1. August 2001
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Novellus Systems, Inc., LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1119874
- Aktenzeichen
- EP00939749
- Anmeldetag
- 8. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 1. August 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L21/314
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Novellus Systems, Inc.
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Forresters IP LLP
München, Deutschland
Forresters IP LLP feierte 2024 sein 140-jähriges Bestehen, gegründet bereits 1884, und zählt zu Großbritanniens traditionsreichsten IP-Kanzleien mit Büros in München, London, Birmingham und Liverpool. Alle Patentanwälte sind European Patent Attorneys, die Financial Times zählte sie mehrfach zu Europas führenden Patentkanzleien.
11.380
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5
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
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Thomson, Paul Anthony
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