Strahlhomogenisierer,Laserbestrahlungsvorrichtung, und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranor

EP1122020 Art B1 9. Oktober 2013

Anmelder: Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1122020
Aktenzeichen
EP01102415
Anmeldetag
2. Februar 2001
Veröffentlichung
9. Oktober 2013
Erteilung
9. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/073H01L21/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd.
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Semiconductor Energy Laboratory

Japanisches Forschungsunternehmen mit Sitz in Atsugi. Semiconductor Energy Laboratory (SEL) forscht an Halbleitertechnologien, Flüssigkristall- und OLED-Displays sowie Dünnschichttransistoren.

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