Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von einem TiN-Film mit geringem Resthalogengehalt
EP1122332
Art A1
8. August 2001
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1122332
- Aktenzeichen
- EP01300949
- Anmeldetag
- 2. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 8. August 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/34C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Allard, Susan Joyce
London, Großbritannien
131
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8
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