Verfahren zur Reduzierung der Oberflächendefekte eines Resistmusters und Anwendung einer wässrigen sauren Lösung in diesem Verfahren

EP1122611 Art B1 2. November 2011

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1122611
Aktenzeichen
EP01300869
Anmeldetag
31. Januar 2001
Veröffentlichung
2. November 2011
Erteilung
2. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/38G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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