Verfahren und Vorrichtung zur verbesserten Kammerreinigung
EP1122766
Art B1
30. Juli 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1122766
- Aktenzeichen
- EP01300835
- Anmeldetag
- 31. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2008
- Erteilung
- 30. Juli 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Draper, Martyn John
London, Großbritannien
343
Patente gesamt
30
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13
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