Isolierender Film auf Basis von SiO2 und seine Herstellung

EP1122770 Art B1 9. August 2006

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1122770
Aktenzeichen
EP01102272
Anmeldetag
31. Januar 2001
Veröffentlichung
9. August 2006
Erteilung
9. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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