Herstellungsverfahren eines Soi Substrats

EP1122788 Art B1 25. März 2009

Anmelder: Mitsubishi Materials Silicon Corporation, MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1122788
Aktenzeichen
EP00942438
Anmeldetag
30. Juni 2000
Veröffentlichung
25. März 2009
Erteilung
25. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/265H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Mitsubishi Materials Silicon Corporation
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan

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