Verfahren zur Grabenätzung in Halbleitermaterial

EP1124253 Art A1 16. August 2001

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1124253
Aktenzeichen
EP01102057
Anmeldetag
30. Januar 2001
Veröffentlichung
16. August 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/308H01L21/033
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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