Erzeugung von Barrieren durch CVD aus neuartigen Prekursoren
EP1126046
Art A3
17. Dezember 2003
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1126046
- Aktenzeichen
- EP01103524
- Anmeldetag
- 16. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 17. Dezember 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/18C23C16/34C23C16/56H01L21/316
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
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