Befestigungsanordnung eines Drucksensor

EP1126260 Art A1 22. August 2001

Anmelder: Fujikin Incorporated, TOKYO ELECTRON LIMITED, Ohmi, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1126260
Aktenzeichen
EP00949991
Anmeldetag
3. August 2000
Veröffentlichung
22. August 2001
Rechtsraum
EP
IPC
G01L19/00G01L7/08G01L9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Fujikin Incorporated
TOKYO ELECTRON LIMITED
Ohmi, Tadahiro
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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