Verfahren zur Erkennung eines Anormalen Durchflusses in einem Durchflussregler für ein unter Druck Stehendes Fluidum
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Fujikin Incorporated, Ohmi, Tadahiro, Iida, Seiichi, FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1126347
- Aktenzeichen
- EP00948265
- Anmeldetag
- 27. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 12. September 2007
- Erteilung
- 12. September 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B23/02F16K17/22G05D7/06G01D21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Fujikin Incorporated
Ohmi, Tadahiro
Iida, Seiichi
FUJIKIN INCORPORATED - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.253 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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