Elektronenemittierende Quelle, Baugruppe und Verfahren zu deren Herstellung

EP1126494 Art B1 19. November 2003

Anmelder: NORITAKE CO., LTD., ULVAC, INC., ISE ELECTRONICS CORPORATION, NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1126494
Aktenzeichen
EP01103842
Anmeldetag
16. Februar 2001
Veröffentlichung
19. November 2003
Erteilung
19. November 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01J1/304H01J9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NORITAKE CO., LTD.
ULVAC, INC.
ISE ELECTRONICS CORPORATION
NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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