Verfahren zur Durchführung und zur Installation von einen Halbleiter-Herstellungsvorrichtung und von Ihren Wechseleinrichtung
EP1126509
Art A1
22. August 2001
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1126509
- Aktenzeichen
- EP00952005
- Anmeldetag
- 15. August 2000
- Veröffentlichung
- 22. August 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
6.250 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Liesegang, Roland
München, Deutschland
387
Patente gesamt
29
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte