CVD-Abscheidung von Tantalnitrid mittels Tantaloxidverdichtung
EP1127956
Art A3
25. September 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1127956
- Aktenzeichen
- EP01103586
- Anmeldetag
- 21. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 25. September 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/56C23C16/02H01L21/316H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
6.825 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Käck, Jürgen
Landsberg am Lech, Deutschland
814
Patente gesamt
32
Fachgebiete
17
Anmelder-Länder
Schwerpunkte