Verfahren zur Herstellung eines Siliziumeinkristalls damit Hergestellter Siliziumeinkristall und Siliziumwafer

EP1127962 Art B1 10. Dezember 2003

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1127962
Aktenzeichen
EP00956805
Anmeldetag
30. August 2000
Veröffentlichung
10. Dezember 2003
Erteilung
10. Dezember 2003
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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