Chemisch verstärkte positiv arbeitende Resistzusammensetzung
EP1128212
Art A3
19. September 2001
Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1128212
- Aktenzeichen
- EP01103680
- Anmeldetag
- 23. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 19. September 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sumitomo Chemical Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Chemical
Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.
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