Entwicklungsverfahren, Verfahren zur Bildung eines Musters und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung
EP1128220
Art A3
19. September 2001
Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1128220
- Aktenzeichen
- EP01104916
- Anmeldetag
- 28. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 19. September 2001
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/32G03F1/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
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Vertreten von
Popp, Eugen
München, Deutschland
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