Bildbeobachtungsverfahren und Rasterelektronenmikroskop

EP1128413 Art A1 29. August 2001

Anmelder: JEOL LTD., Jeol Technics Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1128413
Aktenzeichen
EP01301386
Anmeldetag
16. Februar 2001
Veröffentlichung
29. August 2001
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
Jeol Technics Ltd.
Jeol Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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